MEMS光柵驅(qū)動(dòng)之功率放大器應(yīng)用

MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。Aigtek功率放大器可來(lái)驅(qū)動(dòng)各種MEMS系統(tǒng)器件，常見(jiàn)的產(chǎn)品有 MEMS 麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS 光學(xué)傳感器、MEMS 壓力傳感器等等。

MEMS 光柵應(yīng)用測(cè)試：

MEMS 光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用。MEMS 光柵具有多種驅(qū)動(dòng)方式，而靜電驅(qū)動(dòng)的 MEMS 光柵，由于其工藝易于實(shí)現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高，因此是常用的驅(qū)動(dòng)方式。

靜電驅(qū)動(dòng)的能量密度較小，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作位移（微米級(jí)），就必須增大驅(qū)動(dòng)電壓，驅(qū)動(dòng)電壓甚至達(dá)到上百伏。Aigtek功率放大器可輸出200Vpp~1600Vpp 的電壓范圍，40mA~500mA 的電流輸出能力，是可以滿足新型的 MEMS 相關(guān)應(yīng)用的動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)測(cè)試。MEMS光柵基于其*的優(yōu)勢(shì)，MEMS 光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。

ATA-2000 系列功率放大器，可以輸出理想的單端及差分信號(hào)，為 MEMS 領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器，設(shè)計(jì)了良好的過(guò)壓，過(guò)流，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為 MEMS 測(cè)試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對(duì)應(yīng)的匹配阻抗。 

ATA-2042功率放大器是Aigtek公司生產(chǎn)的寬頻雙通道高壓電源產(chǎn)品，電壓范圍（0-400Vpp），具有穩(wěn)定的輸出電壓、電流、雙通道同步輸出等特點(diǎn)，同時(shí)具有過(guò)流、過(guò)溫保護(hù)功能。適用于驅(qū)動(dòng)高壓型負(fù)載，可放大交、直流信號(hào)，輸出電流100mA，電壓增益數(shù)控0~60倍可調(diào)，液晶屏幕顯示，一鍵保存常用設(shè)置，可與任意品牌信號(hào)發(fā)生器配套使用，實(shí)現(xiàn)任意波形信號(hào)的完美放大。